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Abgeschlossene Projekte

Beispiel: Leybold Heraeus Z 550 - aufgearbeitet, upgraded

Leybold Heraeus Z 550 ( Sputteranlage für die Produktion )

Aufarbeitung einer Sputteranlage. Die Anlage wurde komplett entkernt. Drehdurchführungen und Ventile wurden gewartet. Beschaffungskritische Komponenten wurden durch neue Komponenten ersetzt.

Merkmale

Sputter-down System, 3 Kathoden PK 150 (152mm dia.)

Sputter mode DC, mit oder ohne HF-Bias. Neuer DC-Generator

Neuer HF-Generator mit Variomatch für Funktion Ätzen/Bias

Neue Drucklufteinheit, Ventilinsel, neue Ventile, neue Wasserverteilung, neue Vakuum-Messung und neues Gaseinlaßsystem.

PLC - Simatic S7-300, Visualisierung 18"-TFT

Bilder Leybold-Heraeus Z 550

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