home Z 590 Z 550 Z 590 upgraded Z 590 upgraded Z 590 upgraded A 550 VZK upgraded Z 400 upgraded Z 550 upgraded Z 550 upgraded Target

Gebrauchtanlagen, Geraete

Leybold Z 550 ( Die Laboranlage fuer R&D )

Merkmale

4 Magnetronkatoden D=150mm sind möglich, Sputter Down Prinzip ( Katoden mit D=75mm und D=100mm mittels Adapterflansch moeglich ).

Durch Umruestung auch 3 Katoden mit D=200mm moeglich oder 2 Katoden PK150 und 2 Katoden PK200, jeweils 180° versetzt gegenueberliegend!

Heizung an einer Katodenposition anstatt einer Magnetronkatode möglich.

Sputterfunktionen wahlweise HF/DC, wahlweise mit oder ohne HF-Bias.

HF-Aetzen.

Auch als reine Aetzanlage zu verwenden!

Manuelles Anpassungsnetzwerk fuer HF.

Drehblende in unterschiedlichen Varianten erhaeltlich.

Anlagen- und Prozessvisualisierung ueber 9"-Bedienterminal.

Pumpsystem mit D40B und TMP 450.

Auf Wunsch kann die Anlage umgeruestet werden auf Simatic-Steuerung mit PC fuer Prozessdaten-Verwaltung, Anlagen- und Prozessvisualisierung und Datalogging.

Ansichten Leybold Z550

home Z 590 Z 550 Z 590 upgraded Z 590 upgraded Z 590 upgraded A 550 VZK upgraded Z 400 upgraded Z 550 upgraded Z 550 upgraded Target

zurück