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Abgeschlossene Projekte

Beispiel: Leybold Heraeus Z 550 - aufgearbeitet, upgraded


Leybold Heraeus Z 550 ( Ätzanlage für die Produktion )


Aufarbeitung einer Sputteranlage. Die Anlage wurde komplett entkernt. Drehdurchführungen und Ventile wurden gewartet. Beschaffungskritische Komponenten wurden durch neue Komponenten ersetzt.

Merkmale

Ehemalige Sputteranlage zur Ätzanlage umgebaut.

Neuer HF-Generator mit Variomatch für Funktion Ätzen

Neue Drucklufteinheit, Ventilinsel, neue Ventile, neue Wasserverteilung, neue Vakuum-Messung und neues Gaseinlaßsystem.

PLC - Simatic S7-300, PC und 19" TFT-Monitor


Bilder Leybold-Heraeus Z 550


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