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Abgeschlossene Projekte
Beispiel: Leybold Heraeus Z 550 - aufgearbeitet, upgraded
Leybold Heraeus Z 550 ( Ätzanlage für die Produktion )
Aufarbeitung einer Sputteranlage. Die Anlage wurde komplett entkernt. Drehdurchführungen und Ventile wurden gewartet. Beschaffungskritische Komponenten wurden durch neue Komponenten ersetzt.
Merkmale
Ehemalige Sputteranlage zur Ätzanlage umgebaut.
Neuer HF-Generator mit Variomatch für Funktion Ätzen
Neue Drucklufteinheit, Ventilinsel, neue Ventile, neue Wasserverteilung, neue Vakuum-Messung und neues Gaseinlaßsystem.
PLC - Simatic S7-300, PC und 19" TFT-Monitor
Bilder Leybold-Heraeus Z 550
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